步骤 2: 检查联锁状态
阀门控制面板 联锁指示区

如果真空度满足要求但阀门仍无法打开，检查联锁系统：

  1. 查看阀门控制面板的联锁指示灯
  2. 确认相关设备（离子泵、分子泵）运行正常
  3. 检查 EPS 系统是否有相关报警